Those
「~な人々」「~な者たち」を指します。
who
直前のThoseを修飾する関係代名詞で、「~する人」を導きます。
collaborated
「協力した」「通じた」という意味の動詞collaborateの過去形です。
with
「~と一緒に」「~と」という共に行動することを表す前置詞です。
the regime
「その政権」を指します。
were later
「後に」「その後」という時間を示す表現です。
punished
「罰せられた」という意味の動詞punishの過去分詞で、wereと合わせて受動態「罰せられた」となります。