Micromachining
微細加工、またはマイクロマシニングと呼ばれる精密加工技術です。
is crucial
「非常に重要である」「不可欠である」という意味です。
for the fabrication
「製造のために」「製作において」という意味で、あるプロセスや活動の目的を示します。
of microelectromechanical systems
「微小電気機械システム」を指します。電気的・機械的な機能を持つ微小なデバイスです。
(MEMS)
Microelectromechanical Systems の略称で、「メムス」と読みます。