MEMS

[mɛmz] メムズ

1. 半導体製造技術を応用して作られる、微細な電気機械システムのこと。

集積回路技術と微細加工技術を融合し、電気的機能と機械的機能を一体化した極小デバイスの総称です。センサー、アクチュエーター、電子回路などが含まれ、多岐にわたる分野で利用されています。
MEMS technology is crucial for modern smartphones. (MEMS技術は現代のスマートフォンにとって不可欠です。)
関連
Microelectronics
actuators
semiconductors